Vaakumpumba valimise meetod
Vaakumpumba valimisel peate pöörama tähelepanu järgmistele asjaoludele:
1. Vaakumpumba töörõhk peaks vastama vaakumseadmete ülima vaakumi ja töörõhu nõuetele. Näiteks vaakumkatmiseks on vaja 110-5mmHg vaakumastet ja valitud vaakumpumba vaakumaste peaks olema vähemalt 510-6mmHg. Tavaliselt valitakse pumba vaakumaste poole kuni suurusjärgu võrra kõrgem vaakumseadmete vaakumastmest.
2. Valige õigesti vaakumpumba tööpunkt. Igal pumbal on teatud töörõhu vahemik, näiteks: difusioonpump on 10-3~10-7mmHg, sellises laias rõhuvahemikus muutub pumba pumpamiskiirus koos rõhuga ja stabiilne töö rõhuvahemik on 510-4 ~510-6mmHg. Seetõttu tuleks pumba tööpunkt valida selles vahemikus ja pumbal ei tohi lasta töötada pikka aega alla 10-8mmHg. Teine näide on see, et titaanist sublimatsioonipump võib töötada rõhu all 10-2mmHg, kuid selle töörõhk peaks olema väiksem kui 110-5mmHg.
3. Töörõhu all peaks vaakumpump suutma eemaldada kogu vaakumseadme protsessis tekkiva gaasi. 4. Ühendage vaakumpump õigesti. Vaakumpumpade selektiivse pumpamise tõttu ei suuda mõnikord üht tüüpi pumbad pumpamisnõuetele vastata ning pumpamisnõuete täitmiseks tuleb mitut pumpa üksteise täiendamiseks kombineerida. Näiteks titaanisublimatsioonipumbal on suur vesiniku pumpamiskiirus, kuid see ei suuda heeliumi pumbata, samas kui kolmepooluselisel pihustus-ioonpumbal (või kahepooluselisel asümmeetrilise katoodiga pihustuspumbal) on argooni jaoks teatud pumpamiskiirus. Üheskoos saavutab vaakumseade parema vaakumastme. Lisaks ei saa mõned vaakumpumbad töötada atmosfäärirõhu all ja vajavad eelvaakumit; mõnel vaakumpumbal on väljundrõhk atmosfäärirõhust madalam ja need nõuavad esipumpa, seega tuleb neid kõiki kasutada koos.
5. Vaakumseadmete õlireostuse nõuded. Kui seadmed peavad olema rangelt õlivabad, tuleks valida erinevad õlivabad pumbad, näiteks: veerõngaspump, molekulaarsõeladsorptsioonipump, pihustusioonpump, krüogeenpump jne. Kui nõuded ei ole ranged, siis saab valida õlipumba, pluss mõned õlireostusvastased meetmed, näiteks külmalõksude, deflektorite, õlipüüdurite jms lisamine, vastavad ka puhta vaakumi nõuetele.
6. Mõista pumbatava gaasi koostist, kas gaas sisaldab kondenseeruvat auru, kas selles on osakeste tolmu, kas see on söövitav jne. Vaakumpumba valimisel tuleb teada gaasi koostist ja valida pumbale vastav pump. pumbatav gaas. Kui gaas sisaldab auru, osakesi ja söövitavaid gaase, tuleks kaaluda lisaseadmete, näiteks kondensaatorite, tolmukollektorite jms paigaldamist pumba sisselasketorustikule.
7. Kuidas mõjutab keskkonda vaakumpumbast väljuv õliaur? Kui keskkond ei võimalda reostust, võite valida õlivaba vaakumpumba või juhtida õliauru väljapoole.
8. Kas vaakumpumba tekitatud vibratsioon mõjutab protsessi ja keskkonda. Kui protsess ei võimalda, valige vibratsioonita pump või võtke vibratsioonivastased meetmed.
9. Vaakumpumba hind, kasutus- ja hoolduskulu.